儀器型號

PW-OMV10122

X/Y軸行程

1200x1000mm

工作臺尺寸(mm)

1980mm*1665mm

玻璃臺尺寸(mm)

1300mm*1080mm

Z軸

?

高精度P級直線導(dǎo)軌，有效行程200mm

高精度自動對焦功能模組，實現(xiàn)精準(zhǔn)對焦。

X/Y/Z三軸光柵尺

德國海德漢RSF金屬開放式貼片尺，分辨率：0.0001mm(0.1um)

線性精度（um）

X、Y線性精度：2.0um +L/200? X-Y矢量精度：3um+L/200

Z軸精度≤5um(標(biāo)準(zhǔn)量塊檢測，加配探針科達(dá)2um)(L為被測長度，單位:mm)重復(fù)性2um

重復(fù)精度（um）

正負(fù)2um

X/Y/Z三軸傳動系統(tǒng)

高精度P級直線導(dǎo)軌，C5級TBI研磨絲桿，雙軌雙滑塊導(dǎo)向；

日本松下Panasonic交流伺服閉環(huán)電機和驅(qū)動模塊

Z軸接觸式測量系統(tǒng)

【選配須出廠前安裝】

英國雷尼紹Renishaw MCP接觸式探針模組，3D測量軟件模塊

100mm校正塊規(guī)或者25mm校正球

激光測量

【選配須出廠前安裝】

配備日本基恩士Keyence LK-G30或者日本歐姆龍Omron ZW-7020模組和專用軟件模塊，實現(xiàn)平面度、高度差等快速測量;

操作方式

遙控手柄；鼠標(biāo)操作；

編程自動檢測

測量精度

X/Y軸：E1x,y≤3.0+L/200(um)

Z軸：E1z≤5.0+L/200(um)

重復(fù)精度

2um

視頻系統(tǒng)**

彩色1/1.8"全局130萬千兆網(wǎng)數(shù)字CCD相機

4.5X自動變倍非同軸光鏡頭

光學(xué)放大倍數(shù)：0.7X-4.5X，視頻放大倍率：29X~189X

照明系統(tǒng)（軟件調(diào)控）

表面3環(huán)8區(qū) 無級可調(diào)LED冷光源；

透射LED平行光源

同軸LED冷光源

視野大小(mm)

鏡頭倍率

0.7x

1x

2.0x

3.0x

4x

4.5x

1/2”CCD

11.43x9.14x6.86

8.00x6.40

x4.80

4.00x3.20x

2.40

2.67x2.13x

1.60

2.00x1.60x

1.20

1.78x1.42x1.07

工作環(huán)境

溫度Temperature：19°~24°；

濕度Humidity：45% ~75%RH

振動Vibration <0.002g，＜15Hz

測量軟件

Pw Master 5.1全自動影像測量軟件

機臺承載

50Kg

操作系統(tǒng)

WIN10, 32/64位操作系統(tǒng)

操作語言

英文、簡體中文、繁體中文，可增加其他語言版本

電源

AC 220V/50Hz/10A

儀器電源

220V（AC）??? ??? 50HZ

玻璃臺承重（kg）

20

電腦主機重量（kg）

20

儀器重量（kg）

950